華海清科是國內唯一一家能夠提供12寸CMP設備的高新技術企業(yè),產品可廣泛應用于極大規(guī)模集成電路制造、晶圓平坦化、基片制造等領域。公司核心團隊由中國科學院院士雒建斌教授帶領,以清華大學摩擦學國家重點實驗室為技術依托,研發(fā)經驗豐富。公司目前擁有國內外授權專利147項,軟件著作權5項,生產的CMP設備廣泛應用于中芯國際、長江存儲、華虹集團、英特爾、長鑫存儲、上海積塔等先進集成電路制造商的大生產線中。
我司參股的石溪產恒基金于2020年3月對華海清科投資3000萬元,2020年10月,華海清科申報科創(chuàng)板。
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